定常空気流量発生装置 ■ 空気流量を測定する場合、外乱により負荷が変動すると測定流量が変化します。外乱により負荷が変動しても設定流量を定常に供給する装置です。 ■ 流量はオリフィスの差圧を計測し、電空レギュレータに送る制御量を電圧として出力し制御します。